特許
J-GLOBAL ID：200903017997958603
感光性樹脂組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
久保山 隆
, 中山 亨
, 榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-197719
公開番号（公開出願番号）：特開2005-049842
出願日： 2004年07月05日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】 塗布性良好で、表面荒れおよび透過率低下がなく、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる新たな感光性樹脂組成物を提供する【解決手段】 バインダーポリマー(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含む感光性樹脂組成物において、バインダーポリマー(A)が式(I)で表される構成単位を含んで構成される重合体であり、式(I)で表される構成単位の含有量が、バインダーポリマー(A)を構成する全構成単位に対して、モル分率で、5モル%以上20モル%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。[式(I)中、R1およびR2は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を表す。]【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
バインダーポリマー(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含む感光性樹脂組成物において、バインダーポリマー(A)が式(I)で表される構成単位を含んで構成される重合体であり、式(I)で表される構成単位の含有量が、バインダーポリマー(A)を構成する全構成単位に対して、モル分率で、5モル%以上20モル%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/038 501
, G02B5/20 101
2H025AA02
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC42
, 2H025BC51
, 2H025BC81
, 2H025BC86
, 2H025BC93
, 2H025CA01
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CC03
, 2H025EA04
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H048BA02
, 2H048BA45
, 2H048BB02
, 2H048BB08
, 2H048BB10
, 2H048BB42
