特許
J-GLOBAL ID：200903018096250942
加工圧制御が不要な研磨方法および研磨剤
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-000382
公開番号（公開出願番号）：特開2005-193319
出願日： 2004年01月05日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
【課題】 加工圧制御が不要な研磨方法、及びそれに用いる研磨剤を提供する。【解決手段】 下部磁極鉄芯2と上部磁極鉄芯3は、電源14に接続された、夫々の電磁石(コイル)5,10により励磁される。下部磁極鉄芯2の上に研磨試料1を固定して、上部磁極鉄芯3との間に新しく開発した磁気研磨液でなる研磨剤4を介在させる。下部磁極鉄芯2はACサーボモータ7によりカップリング6を介して駆動回転される。同様に、上部磁極鉄芯3はACサーボモータ10によりカップリング11を介して、下部磁極鉄芯2の回転方向と反対方向に駆動回転される。ACサーボモータ7,10は夫々の速度計8,13により回転速度が検出され、速度制御装置(図示なし)により所定の回転数に制御される。電磁石により、時間的に定常的な或いは変動的な磁場を印加することにより、磁気研磨液に磁場が印加される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
上部の電磁石コイル内の上部磁極鉄芯と、該上部磁極鉄芯と反対方向に回転する電磁石コイル内の下部磁極鉄芯と、該下部磁極鉄芯上に設置された試料ホルダーとからなり、非磁性の砥粒粒子とαセルロースを混合してなる磁気研磨剤を、上部磁極鉄芯と試料ホルダー上の研磨される試料との間に供給し、該磁気研磨剤には電磁石により時間的に定常的にあるいは変動的に磁場を印加しつつ、上部磁極鉄芯と下部磁極鉄芯を回転して試料を研磨することを特徴とする加工圧制御が不要な研磨方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
B24B37/00 D
, B24B37/00 H
, C09K3/14 550D
, C09K3/14 550Z
3C058AA07
, 3C058CB01
, 3C058DA11
