特許
J-GLOBAL ID:200903018105974746

圧電アクチュエータ及びインクジェット記録ヘッド

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-095003
公開番号(公開出願番号):特開2005-246973
出願日: 2005年03月29日
公開日(公表日): 2005年09月15日
要約:
【課題】フレキシブルフラットケーブルの配線パターンとの電気的接続を確実にかつ長期に渡って維持できる圧電アクチュエータ及びインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】積層された複数の圧電セラミック層2、3と、これらの圧電セラミック層2、3の間に形成された少なくとも1層の共通電極5と、最上層の圧電セラミック層2の表面に配列された複数の個別電極7と、個別電極7と同一面上に設けられかつ共通電極5に接続された引出電極9とを備えた圧電アクチュエータ1であって、個別電極7が、圧電駆動に寄与する駆動部11とこの駆動部11の一端に接続された駆動電圧印加用のランド部10とを備え、かつ引出電極9を、個別電極7の集合体Aを取り囲むようにコ字状に設けてなる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
積層された複数の圧電セラミック層と、これらの圧電セラミック層の間に形成された少なくとも1層の共通電極と、最上層の前記圧電セラミック層の表面に配列された複数の個別電極と、前記個別電極と同一面上に設けられかつ前記共通電極に接続された引出電極とを備えた圧電アクチュエータであって、前記個別電極が、圧電駆動に寄与する駆動部とこの駆動部の一端に接続された駆動電圧印加用のランド部とを備え、かつ前記引出電極を、個別電極の集合体を取り囲むようにコ字状に設けてなることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (5件):
B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22
FI (4件):
B41J3/04 103A ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z
Fターム (14件):
2C057AF35 ,  2C057AF65 ,  2C057AG15 ,  2C057AG44 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AG94 ,  2C057AG99 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP31 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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