特許

J-GLOBAL ID：200903018144081678

真空吸着器における接触部の平坦度測定方法

発明者： 秋山 正
出願人/特許権者： 株式会社ニュークリエイション
代理人 (1件)： 荒船 良男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-325449
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146556
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 真空吸着器の接触部の平坦度の有効な測定方法を提供する。【解決手段】 真空吸着部において吸着目的物の背面に接触しその吸着目的物を支持する多数の接触部の平坦度を測定するにあたり、一面に反射部が形成された反射板を用い、前記反射板を真空吸着させることにより前記反射板の背面を前記多数の接触部に接触させ、前記反射部に光を照射して光学測定法により前記反射部の平坦度を求め、この平坦度から前記多数の接触部の平坦度を間接的に測定するようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空吸着部において吸着目的物の背面に接触しその吸着目的物を支持する多数の接触部の平坦度を測定するにあたり、一面に反射部が形成された反射板を用い、前記反射板を真空吸着させることにより前記反射板の背面を前記多数の接触部に接触させ、前記反射部に光を照射して光学測定法により前記反射部の平坦度を求め、この平坦度から前記多数の接触部の平坦度を間接的に測定するようにしたことを特徴とする、真空吸着器における接触部の平坦度測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/30 101 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

G01B 11/30 101 A ,  H01L 21/304 622 H ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (9件)：

2F065AA47 ,  2F065BB03 ,  2F065FF52 ,  2F065TT06 ,  5F046CC10 ,  5F046CC11 ,  5F046DA05 ,  5F046DB05 ,  5F046DD03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 形状測定方法及び測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-179767   出願人：株式会社ニコン