特許
J-GLOBAL ID：200903018161150624

オメガ型エネルギーフィルタ

発明者：
津野 勝重

津野 勝重 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-056324
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260312
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 小さい収差の3磁石系のオメガ型エネルギーフィルタを実現する。【解決手段】 入射絞り面からスリット面までの電子ビームの軌道を連続的にΩ字状に偏向するオメガ型エネルギーフィルタにおいて、電子ビームの軌道を含む平面に垂直な対称面を有し、電子ビームの入射側から偏向角をΦ、2Φ、Φとした3つの磁場領域M1、M23、M4からなり、各磁極端面とビーム回転半径をパラメータとして用いフォーカス合わせを行う。前記偏向角Φは102°≦Φ≦115°の範囲に選定し、前記2Φの偏向角を有する磁場領域のビーム回転半径R3を前記Φの偏向角を有する磁場領域のビーム回転半径R4より小さくする。
請求項（抜粋）：
入射絞り面からスリット面までの電子ビームの軌道を連続的にΩ字状に偏向するオメガ型エネルギーフィルタにおいて、電子ビームの軌道を含む平面に垂直な対称面を有し、電子ビームの入射側から偏向角をΦ、2Φ、Φとした3つの磁場領域を持ち、各磁極端面とビーム回転半径をパラメータとして用いフォーカス合わせを行うことを特徴とするオメガ型エネルギーフィルタ。
IPC (2件)：
H01J 49/44 ,  H01J 37/05
FI (2件)：
H01J 49/44 ,  H01J 37/05
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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