接合方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：萼経夫 , 宮崎嘉夫 , 小野塚薫 , 田上明夫 , ▲高▼ 昌宏 , 中村壽夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-029582
公開番号（公開出願番号）：特開2008-195974
出願日： 2007年02月08日
公開日（公表日）： 2008年08月28日
要約：

【課題】金属ナノ粒子を用いた接合方法において、必要な接合強度を得る。【解決手段】比較的初期段階では、比較的低圧P1の加圧力で被接合部材10A、10B同士を加圧する。この、比較的低圧P1の加圧条件下(ガス抜き工程)では、接合材料12が加熱されることで有機保護膜16が蒸発し、接合材料12の、金属ナノ粒子18及びバインダー20により構成されるポーラス構造の空孔部分が、加圧によって必要以上に押し潰されることがない。よって、ポーラス構造の空孔部分が、気化した有機保護膜16の脱ガス経路として機能し、被接合部材10A、10Bの間からガスが円滑に放出される。接合材料12の温度が所定の温度に到達した時点で、比較的低圧の加圧力P1から比較的高圧の加圧力P2へと増圧する(増圧工程)。そして、高圧の加圧力P2で被接合部材10A、10B同士を接合することにより、接合強度を向上させる(接合工程)。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属ナノ粒子を被接合部材間の所定の位置に保持した状態で加熱・焼成することにより被接合部材同士を接合する接合方法であって、被接合部材の接合面に、有機保護膜で被覆された金属ナノ粒子とバインダーとが含まれる接合材料を塗布して被接合部材同士を重ね合わせ、前記接合材料がその接合温度以上となるように加熱しながら比較的低圧の加圧力で前記被部材同士を加圧し、前記被接合部材、前記接合材料、及び、それらの周辺雰囲気のいずれかに生じる所定の物理量変化、又は加熱開始からの経過時間を測定し、該物理量変化が一定量に到達した時点又は一定時間経過後において、前記加圧力を比較的高圧へと増圧することを特徴とする接合方法。

IPC (1件)：

B22F 7/08

FI (1件)：

B22F7/08 C

Fターム (7件)：

4K018BB05 , 4K018BC29 , 4K018CA33 , 4K018DA03 , 4K018DA12 , 4K018EA01 , 4K018JA36

引用特許：

出願人引用 (1件)

接合体
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-299520 出願人：株式会社荏原製作所

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