固体撮像素子とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾川秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-305993
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132506
出願日： 1992年10月19日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】表面がパシベーション膜5で覆われた撮像領域上に平坦化膜6が形成され、該平坦化膜6上に少なくともオンチップマイクロレンズ8が形成された固体撮像素子において、平坦化膜6の表面を平坦にしつつレンズ・受光部間距離を小さくしてシェーディングを防止し、レンズ・受光部間距離不均一による分光を防止し、感度及び分光のF値依存性の低減を図る。【構成】平坦化膜6の表面をパシベーション膜5の最も高い部分の表面と略同じ高さにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

表面がパシベーション膜で覆われた撮像領域上に平坦化膜が形成され、該平坦化膜上に少なくともオンチップマイクロレンズが形成された固体撮像素子において、上記平坦化膜の表面がパシベーション膜の最も高い部分の表面と略同じ高さにされたことを特徴とする固体撮像素子

IPC (3件)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , H04N 5/335

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-183165
特開平3-283573
特開平1-279204

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