特許
J-GLOBAL ID：200903018319616324
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-045574
公開番号（公開出願番号）：特開平7-253434
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【目的】2次元走査速度を上げた場合でも、試料の微細な表面情報を高精度に測定することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】本発明の走査型プローブ顕微鏡に適用された振幅検出部30は、バンドパスフィルタ14と、このバンドパスフィルタ14から出力されたバンドパス信号S8の各周波数毎(又は、必要なタイミングに応じた瞬間の各周波数毎)のピーク値をホールドするピークホールド回路31と、このピークホールド回路31を駆動制御することによって、バンドパス信号S8の各周波数毎のピーク値をホールドするタイミング及びピーク値をホールドした信号を振動振幅(振幅信号S2)として出力させるタイミングを制御するタイミング制御回路32とを備えている。
請求項（抜粋）：
尖った先端を有するカンチレバーと、このカンチレバーを振動させる振動体と、前記カンチレバーを試料に対して相対的に走査させる走査手段と、この走査手段によって走査させることによって生じる前記カンチレバーの振動変位を検出する変位検出手段と、この変位検出手段から出力された変位信号のピーク値を一定のタイミングでホールドして、且つ、ピーク値をホールドした信号を振幅信号として一定のタイミングで出力する振幅検出手段と、この振幅検出手段から出力された前記振幅信号に基づいて、試料の表面情報を測定する制御手段とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
