特許

J-GLOBAL ID：200903018331286593

ピックアップツール

発明者： 長谷川 博
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-193881
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040646
出願日： 1997年07月18日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】 所望部品を真空吸着するピックアップツールに関し、ピックアップツールの吸着部材に、所望部品のエッジが当接するまたは、所望部品の被吸着面の全面が当接する従来技術の問題点を解決する。【解決手段】 吸気孔14が貫通するシャンク12の先端面に、吸気孔14に連通する透孔23が設けられた吸着部材22が接合され、透孔23が開口する吸着部材22の吸着面22′に、透孔23と同心かつ該所望部品の真空吸着時に変形閉塞されない複数の通気溝24が形成され、通気溝24によって形成された複数の凸部25のそれぞれに、凸部25の内側と外側の通気溝24に連通する切欠き28が形成され、透孔23に最も近い通気溝24が透孔23に連通している。

請求項（抜粋）：

吸気孔が貫通するシャンクの先端面に、該吸気孔に連通する透孔が設けられた吸着部材が接合され、該吸着部材の吸着面に所望部品を真空吸着するピックアップツールであって、該透孔が開口する該吸着面に、該透孔と同心かつ該所望部品の真空吸着時に変形閉塞されない複数の通気溝が形成され、該複数の通気溝によって該透孔と同心に形成された複数の凸部のそれぞれに、該凸部の内側と外側の該通気溝に連通する切欠きが形成され、該透孔に最も近い該通気溝が該透孔に連通していることを特徴とするピックアップツール。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23P 21/00 305 ,  B25J 15/06 ,  H05K 13/04

FI (4件)：

H01L 21/68 B ,  B23P 21/00 305 A ,  B25J 15/06 N ,  H05K 13/04 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-134945
  
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-048898   出願人：富士通株式会社
• 特開平3-012948