特許

J-GLOBAL ID：200903018389663613

電界放射型低速電子回折装置

発明者： 水野 清義
出願人/特許権者： 株式会社産学連携機構九州
代理人 (1件)： 林 靖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-328502
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131249
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、試料表面の極小の局所領域に電子線を照射することができ、その領域の数原子層の原子配列情報を高精度に検出でき、小型で安全性の高い電界放射型低速電子回折装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の電界放射型低速電子回折装置は、先鋭化され電界放射電子を放射する探針と、探針に対して試料に電界放射のための電圧を印加する電源部と、所定の電界放射電流が流れるように探針-試料間距離を制御するための探針制御装置と、電界放射電子が入射したとき試料から発生する散乱電子を引き込む引き込み電極と、該引き込み電極を通過した非弾性散乱電子の通過を阻止する所定の阻止電位が印加される非弾性散乱電子除去部と、非弾性散乱電子除去部を通過した弾性散乱電子によって回折パターンを発生させる回折パターン検出部を備え、探針-試料間に前記電圧を印加したことにより、電界放射電子の試料表面における電子線照射面積が絞られるとともに、散乱電子が試料表面の数原子層内から散乱され、且つ探針と試料間に形成される電場を振り切って放出されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

先鋭化され電界放射電子を放射する探針と、前記探針に対向して設けられ試料を載置する試料ホルダーと、前記探針に対して前記試料に電界放射のための電圧を印加する電源部と、前記探針が取り付けられ、所定の電界放射電流が流れるように探針-試料間距離を制御する探針制御装置と、前記電界放射電子が入射したとき前記試料から発生する散乱電子を取り込む引き込み電極と、前記引き込み電極に隣接して設けられ、該引き込み電極を通過した非弾性散乱電子の通過を阻止できる所定の阻止電位が印加される非弾性散乱電子除去部と、前記非弾性散乱電子除去部を通過した弾性散乱電子によって回折パターンを発生させる回折パターン検出部を備え、前記探針-前記試料間に前記電圧を印加したことにより、前記電界放射電子の試料表面における電子線照射面積が絞られるとともに、前記散乱電子が試料表面の数原子層内から散乱され、且つ前記探針と前記試料間に形成される電場を振り切って放出されることを特徴とする電界放射型低速電子回折装置。

IPC (5件)：

G01N 23/205 ,  G01N 23/20 ,  H01J 37/06 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/295

FI (5件)：

G01N 23/205 ,  G01N 23/20 ,  H01J 37/06 A ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/295

Fターム (23件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA14 ,  2G001BA16 ,  2G001BA18 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001JA04 ,  2G001JA06 ,  2G001SA01 ,  2G001SA04 ,  5C030BB02 ,  5C030CC02 ,  5C033NN02 ,  5C033NP01 ,  5C033NP04 ,  5C033SS01 ,  5C033SS03