特許

J-GLOBAL ID：200903018415364255

被研磨加工物の保持材

発明者： 山田 博行 ,  川端 克昌 ,  吉田 光一 ,  繁田 好胤 ,  ▲高▼見 周治 ,  折内 正樹
出願人/特許権者： ニッタ・ハース株式会社 ,  平松産業株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-034579
公開番号（公開出願番号）：特開2005-224888
出願日： 2004年02月12日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】枠材を用いることなく高い保持機能を有するとともに、保持材への研磨液等の浸透による保持機能の低下や、これに伴う研磨精度の低下を抑制することを課題としている。【解決手段】 通気性を有する多孔質シート材12の表層に、被研磨加工物が貼着される粘着材層が配置され、その粘着材層13には、貫通孔17が多孔質シート材12の表面まで貫通して形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

通気性を有する多孔質シート材を備えた被研磨加工物の保持材において、前記多孔質シート材に、被研磨加工物が貼着される粘着材層が配置され、その粘着材層には、多数の貫通孔が多孔質シート材の表面まで貫通して形成されていることを特徴とする被研磨加工物の保持材。

IPC (2件)：

B24B37/04 ,  H01L21/304

FI (2件)：

B24B37/04 H ,  H01L21/304 622H

Fターム (11件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058AB09 ,  3C058CA06 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058CB06 ,  3C058CB10 ,  3C058DA13 ,  3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

• テンプレートアセンブリ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-165911   出願人：ロデール・ニッタ株式会社