特許

J-GLOBAL ID：200903018418135958

ウェーハカセット及びその使用方法

発明者： 関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-039450
公開番号（公開出願番号）：特開平8-080989
出願日： 1995年02月06日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ダイサー等切削装置の稼働中に切削済みのウェーハを抜き取り検査する際に、背部(作業者側)からウェーハを取り出せるようにしたウェーハカセット及びその使用方法を提供する。【構成】 半導体ウェーハを収容するカセット1において、このカセットの背部Yには開状態と閉状態とに選択出来るストッパ2が配設されていて、開状態の時は背部からウェーハの出し入れが可能となり、閉状態の時は背部からの出し入れが規制される。半導体ウェーハを切削する切削装置に前記カセットを装着し、切削装置の稼働中にそのカセットに収容された切削済みのウェーハを背部から搬出してウェーハの切削状態をチェックし、その後ウェーハをカセットの背部からカセット内に収容する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハを収容するカセットにおいて、このカセットの背部には開状態と閉状態とに選択出来るストッパが配設されていて、開状態の時は背部からウェーハの出し入れが可能となり、閉状態の時は背部からの出し入れが規制されるウェーハカセット。

IPC (4件)：

B65D 85/86 ,  H01L 21/304 301 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/301

FI (2件)：

B65D 85/38 R ,  H01L 21/78 N

引用特許：

審査官引用 (5件)

• バッファ・カセット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-335078   出願人：川崎製鉄株式会社
• 特開昭63-245938
  
• 特開平4-002148
  
• 特開昭63-245938
  
• 特開平4-002148