多数の鏡面を有する面鏡

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-566598
公開番号（公開出願番号）：特表2005-517291
出願日： 2002年12月23日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】多数の鏡面を有する面鏡【解決手段】本発明は、複数の面(11)を具備し且つマイクロリソグラフィの特にEUVリソグラフィの投影設備(1)用の照明機器(3)に使用される面鏡(10)に関する。各鏡面(11)には、球形本体(17)が設けられている。鏡表面(12)が球形本体(17)の窪み(18)に配列されている。上記鏡表面(12)とは反対側の球形本体(17)の側部は、軸受装置(15)に位置決めされている。1つのこのような面鏡(10)を調整するための装置において、レバー要素(23)が鏡面(11)の各々に、鏡表面(12)とは反対側の球形本体(17)の側部に、配列されている。調整システム(27)は、球形本体(17)とは反対側の領域に、レバー要素(23)に係合して、球形本体(17)がこの中心軸を中心にして変位するのを可能にする。

請求項（抜粋）：

多数の鏡面(11)を有する面鏡(10)であって、マイクロリソグラフィの、特に、超紫外線の領域の放射線を利用するマイクロリソグラフィの、投影露光機(1)用の照明装置(3)に使用され、前記鏡面(11)の少なくとも一部は、球形本体(17)を有し、反射表面(12)が前記球形本体(17)の窪み(18)に配列され、前記反射表面(12)からそらされた前記球形本体(17)の側部は軸受装置(15)内に装着されている面鏡。

IPC (3件)：

H01L21/027 , G02B7/198 , G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 531A , G03F7/20 521 , H01L21/30 517 , G02B7/18 B

Fターム (11件)：

2H043BB05 , 2H043BC07 , 5F046BA05 , 5F046CA08 , 5F046CB03 , 5F046CB22 , 5F046DA01 , 5F046GA03 , 5F046GA14 , 5F046GB01 , 5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (2件)

光偏向装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-331325 出願人：キヤノン株式会社
凹面鏡のあおり調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-000919 出願人：住友重機械工業株式会社

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