特許

J-GLOBAL ID：200903018457786923

多層膜反射鏡

発明者： 戸井田 憲 ,  野沢 和人 ,  大本 稔
出願人/特許権者： 株式会社シバソン
代理人 (1件)： 大塚 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-077619
公開番号（公開出願番号）：特開2005-266211
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】 少数の反射膜の積層により、高い可視光反射率、反射光照度が得られる多層膜反射鏡を提供する。【解決手段】 高屈折率薄膜層と低屈折率薄膜層とを交互に積層して形成された多層反射膜のうちの複数の高屈折率薄膜層を屈折率の高い金属Si層として多層膜反射鏡を構成する。例えば、多層反射膜の第1層から第8層のうちの複数の高屈折率薄膜層を金属Si層とし、低屈折率薄膜層をSiO2層とすれば、その屈折率の大差により高い反射率が得られる。しかし、Si層は、可視光の吸収率が高い。そこで、これよりも上層に、例えば、高屈折率薄膜層としてのTiO2層と低屈折率薄膜層としてのSiO2層を交互に適切に積層すれば、Si層による可視光の吸収を無視できるほど低減し、全体として少ない積層数で高い可視光反射率、反射光照度を得ることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

反射基材面に高屈折率薄膜層と低屈折率薄膜層とを交互に積層して多層反射膜を設けた反射鏡であって、複数の前記高屈折率薄膜層が金属Si層であることを特徴とする多層膜反射鏡。

IPC (3件)：

G02B5/26 ,  G02B5/08 ,  G02B5/28

FI (3件)：

G02B5/26 ,  G02B5/08 A ,  G02B5/28

Fターム (14件)：

2H042DA01 ,  2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DB03 ,  2H042DC02 ,  2H042DE04 ,  2H048FA05 ,  2H048FA15 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA14 ,  2H048GA18 ,  2H048GA43 ,  2H048GA61

引用特許：

出願人引用 (1件)

• コールドミラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-116604   出願人：株式会社小糸製作所