真空チャックの吸着板及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-288462
公開番号（公開出願番号）：特開平7-156035
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：

【要約】【目的】プラスチックで吸着板を形成したにも拘わらず、吸着板表面における静電気の帯電を防止することができるとともに、帯電防止効果を長期に亘って持続することができる真空チャックの吸着板を提供する。【構成】真空チャック1の吸着板8はプラスチック材料により構成されているため、被吸着物が傷つくことなく吸着保持される。又、前記吸着板8には帯電防止剤よりなる電導性薄層12が設けられているため、静電気による被吸着物への悪影響が防止される。又、電導性薄層12は、吸着面9以外の吸着板8の面、及び透孔の内側面のみに設けられているため、被吸着物を吸着しても電導性薄層12が剥離されにくい。従って、帯電防止効果が長期に亘って持続されるとともに、剥離した電導性薄層12が被吸着物に付着して起こる被吸着物の傷つきが防止される。

請求項（抜粋）：

表裏両面に連通する多数の透孔(11)を有するプラスチック板(8)を形成し、そのプラスチック板(8)を一方の面から空気を吸引することにより他方の面(9)に被吸着物を吸着する真空チャックの吸着板とし、前記プラスチック板(8)に、静電気の発生を防止する帯電防止剤(12)を設けたことを特徴とする真空チャックの吸着板。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-262638
特開平4-035827
特開平2-303744

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