特許

J-GLOBAL ID：200903018487713068

基板搬送装置及び基板検査装置並びに基板搬送方法

発明者： 村上 勝治
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (6件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-236310
公開番号（公開出願番号）：特開2007-112626
出願日： 2006年08月31日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：

【課題】基板搬送時に基板の吸着が解除されたときの復帰処理を自動で行えるようにする。【解決手段】基板搬送装置1は、浮上ステージ3で浮上させた基板Wを吸着保持する吸着部10を有し、吸着部10は基板搬送部8によって搬送方向Cに往復移動可能に構成されている。吸着部10には、基板Wを吸着する吸着パッド11と、基板Wを整列させる基準ピン13及び押し付けピン12a,12b,12cと、基板Wの有無を検出する基板検出部15とが設けられている。基板Wの搬送途中に吸着が外れたら、基板検出部15で基板Wが検出される位置まで基板搬送部8を引き戻し、押し付けピン12b,12cで基板Wを基板脱落防止壁5に押し当てながら整列させ、再度吸着保持を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を浮上させるステージと、 前記ステージで浮上させた前記基板の一部を保持する吸着部と、 前記吸着部を前記ステージに沿って移動させる搬送機構と、 前記吸着部と共に移動し、前記基板の位置を検出する基板検出部と、 前記基板を整列させる基板整列機構と、 前記ステージに沿って設けられて前記ステージからの前記基板の脱落を防止する基板脱落防止部とを有し、 基板搬送時に前記基板の保持が外れたときに、前記基板検出部で前記基板の有無を検出した後に前記基板を前記吸着部で保持するように構成したことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 49/06 ,  H01L 21/677 ,  B65G 51/03

FI (3件)：

B65G49/06 Z ,  H01L21/68 A ,  B65G51/03 Z

Fターム (15件)：

5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA25 ,  5F031GA62 ,  5F031GA65 ,  5F031JA03 ,  5F031JA22 ,  5F031JA51 ,  5F031KA02 ,  5F031KA03 ,  5F031KA06 ,  5F031LA08 ,  5F031PA02 ,  5F031PA10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 非接触式ワーク浮上搬送用構造体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-204418   出願人：タバイエスペック株式会社
• 国際公開第03/086917号パンフレット