縮小投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-228185
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077111
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】様々なレチクルパターンに応じて、その光学コントラストが最大となるようにレチクル上へ照射する光強度の入射角異存性を自在にコントロールする。【構成】ケーラー照明法を用いる縮小投影露光装置の2次光源を与えるフライアイレンズ7に、単位セル(個々のレンズ)毎に独立連続可変の可動絞りを設置し、単位セルの光透過率を図1(a)または図1(b)のように変化させる。

請求項（抜粋）：

ケーラー照明法を用いる縮小投影露光装置において、フライアイレンズを構成する個々のレンズ毎に独立の光強度調節用の可動絞りを有することを特徴とする縮小投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L , H01L 21/30 311 S

引用特許：

審査官引用 (1件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-349162 出願人：株式会社東芝

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