特許
J-GLOBAL ID：200903018540808416
面間隔測定方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154540
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241128
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：
【要約】【課題】 非破壊、非接触で高精度にレンズの肉厚や面間隔を測定できる面間隔測定方法および装置を提供する。【解決手段】 低コヒーレンス光源101と、低コヒーレンス光源101から射出された光束を分割する光束分割素子102と、光束分割素子102により分割された一方の光束の光路長を変化させ光束を反射させる反射鏡103と、光束分割素子102により分割された他方の光束が被検物104に入射して反射した反射光と反射鏡103からの反射光とを重畳させて生ずる干渉信号を検出する光電検出器105とを備え、光電検出器105からの信号と反射鏡103からの情報を演算処理することによりa-bの間隔を測定する。
請求項（抜粋）：
空間的コヒーレンス長が短い低コヒーレンス光源と、該低コヒーレンス光源から射出された光束を分割する光束分割手段と、該光束分割手段により分割された一方の光束の光路長を変化させ光束を反射させる手段を有する光路長変化手段と、前記光束分割手段により分割された他方の光束が被検物たる光学系に入射して反射した反射光と前記光路長変化手段からの反射光とを重畳させて生ずる干渉信号を検出する光強度検出手段とを備え、該光強度検出手段からの信号と前記光路長変化手段からの情報を演算処理することにより間隔を測定することを特徴とする面間隔測定方法および装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/14 G
, G01B 11/06 G
2F065AA22
, 2F065AA30
, 2F065BB05
, 2F065CC22
, 2F065DD03
, 2F065FF51
, 2F065FF61
, 2F065FF67
, 2F065GG02
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ18
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL06
, 2F065LL09
, 2F065LL12
, 2F065LL13
, 2F065LL21
, 2F065LL33
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065QQ13
, 2F065SS13
, 2F065UU07
