特許
J-GLOBAL ID:200903018598110648

高さ及び界面を非接触で検出するための方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 山田 行一 ,  野田 雅一 ,  池田 成人
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-503487
公開番号(公開出願番号):特表2008-534940
出願日: 2006年03月24日
公開日(公表日): 2008年08月28日
要約:
容器(11)内に保持された物質の材料層の厚さを決定する方法及び装置であって、上記物質が、上側層(101)に配置された第1の材料と、下側層(102)に配置された第2の材料とを備え、物質を通過して容器部分(13)に向かう無線信号を送信し、上側層の表面(12)から、第2の層の表面(14)から、及び、容器部分(13)からの反射信号を受け、送信信号の周波数を変えて送信信号と反射信号との間の位相変位を決定し、位相変位に基づいて表面及び容器部分までの光学距離を決定し、上記層のうちの一方の層の厚さ(L1)を、その層の厚さ方向における位相変位及びその層の屈折率に基づいて決定し、他方の層の厚さ(L2)を、上記層のうちの上記一方の層の厚さに基づいて決定する、方法及び装置。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
容器内に保持された物質の材料層の厚さを決定する方法であって、前記物質が、上側層に配置された第1の材料と、下側層に配置された第2の材料とを備え、 -容器部分から所定の距離に配置されたアンテナ手段から、前記物質を通過して、前記容器部分に向かう無線信号を送信するステップと、 -前記上側層の上側の第1の表面部分からの反射信号、第2の層の上側の第2の表面部分からの反射信号、及び、前記容器部分からの反射信号を前記アンテナ手段で受けるステップと、 -所定の周波数帯域にわたって前記送信される信号の周波数を変えて、前記送信される信号と複数の前記反射信号との間の位相変位を決定するステップと、 -前記位相変位に基づいて、前記アンテナ手段から前記第1の表面部分までの光学距離、前記アンテナ手段から第2の表面部分までの光学距離及び前記アンテナ手段から前記容器部分までの光学距離を決定するステップと、 -前記層のうちの一方の層の厚さを、該一方の層の厚さ方向における位相変位及び該一方の層の屈折率に基づいて決定するステップと、 -前記層のうちの他方の層の厚さを、前記所定の距離及び前記層のうちの前記一方の層の厚さに基づいて決定するステップと、 を備える方法。
IPC (1件):
G01F 23/284
FI (1件):
G01F23/28 D
Fターム (1件):
2F014FC01
引用特許:
審査官引用 (1件)

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