表面抵抗測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木崇生 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031560
公開番号（公開出願番号）：特開2000-230950
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】導電膜の性能劣化あるいは品位の劣化を防止できながら、パスライン変動による測定誤差を抑制できて、インライン連続測定を精度良く行うことができる表面抵抗測定装置を提供する。【解決手段】導電膜2に設定間隔を空けて対向させる渦電流発生部3Aと、導電膜2に流れる渦電流を導電膜2とは離間した状態で検出する渦電流検出部3Bと、渦電流発生部3Aと導電膜2の間隔を検出する間隔検出部4とを所定数づつ設け、渦電流発生部3Aに印加する電圧を一定にした状態で、導電膜2の表面抵抗を算出する算出手段7を設け、算出手段7は、間隔検出部4の検出結果が設定間隔から外れていると、設定間隔から外れたことに起因する渦電流の増減量を求めるとともに、渦電流の増減量を渦電流検出部3Bの検出結果から減じあるいは加える補正を行い、その補正した渦電流の値に基づいて、導電膜2の表面抵抗を算出するよう構成してある。

請求項（抜粋）：

導電膜に設定間隔を空けて対向させてその導電膜に渦電流を流す渦電流発生部と、前記導電膜に流れる渦電流を前記導電膜とは離間した状態で検出する渦電流検出部と、前記渦電流発生部と導電膜の間隔を検出する間隔検出部とを所定数づつ設け、前記渦電流発生部に印加する電圧を一定にした状態で、前記渦電流検出部の検出結果と前記間隔検出部の検出結果とに基づいて、前記導電膜の表面抵抗を算出する算出手段を設け、前記算出手段は、前記間隔検出部の検出結果が前記設定間隔から外れていると、前記設定間隔から外れたことに起因する渦電流の増減量を求めるとともに、前記渦電流の増減量を前記渦電流検出部の検出結果から減じあるいは加える補正を行い、その補正した渦電流の値に基づいて、前記導電膜の表面抵抗を算出するよう構成してある表面抵抗測定装置。

Fターム (13件)：

2G028AA00 , 2G028AA01 , 2G028BB03 , 2G028BB20 , 2G028BC02 , 2G028BE10 , 2G028CG02 , 2G028DH14 , 2G028FK02 , 2G028GL04 , 2G028HM10 , 2G028HN15 , 2G028LR20

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-120960
センサの較正方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-270204 出願人：マイクロ-エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲー
特開平1-318976

全件表示

前のページに戻る