特許

J-GLOBAL ID：200903018608490142

ステージ装置

発明者： 光永 陽介
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-256005
公開番号（公開出願番号）：特開2003-062733
出願日： 2001年08月27日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 複数のボールネジ機構で上下方向に駆動されるテーブルを持つステージ装置におけるピッチング及びローリングの抑制作用を向上させる。【解決手段】 テーブル30を3つのボールネジ機構で上下動可能に支持した構造を持つステージ装置において、各ボールネジ機構の可動部とテーブルとの結合を、ピッチング方向とローリング方向に自由度を持つ継手10を介して行うようにした。

請求項（抜粋）：

テーブルを少なくとも3つのボールネジ機構で上下動可能に支持した構造を持つステージ装置において、各ボールネジ機構の可動部と前記テーブルとの結合を、ピッチング方向とローリング方向とに自由度を持つ1つ以上の継手を介して行うようにしたことを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

B23Q 5/44 ,  B23Q 1/46 ,  G12B 5/00

FI (3件)：

B23Q 5/44 B ,  G12B 5/00 T ,  B23Q 1/14 C

Fターム (11件)：

2F078CA08 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB10 ,  2F078CB12 ,  2F078CB18 ,  2F078CC03 ,  3C048AA01 ,  3C048BB20 ,  3C048BC02 ,  3C048DD00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 位置決めステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-358993   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭59-129636
  
• 特開昭59-129636