特許

J-GLOBAL ID：200903018614428025

研磨板及びその製造方法ならびにラッピング装置及びラッピング方法

発明者： 松井 利弘
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (2件)： 藤田 考晴 ,  上田 邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-266904
公開番号（公開出願番号）：特開2007-075948
出願日： 2005年09月14日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：

【課題】 研磨板と研磨液との間の馴染みをよくし、硬い材料で形成された基板を良好にラッピングすることを可能にする。【解決手段】 研磨対象物(8)が押し当てられる研磨面(2a)を有する研磨部(2)を備えた研磨板(1)において、前記研磨部(2)は鉄を主成分とし、以下の式で表される炭素当量Ceqは0.02質量%以下とされる。Ceq=C+Mn/6+Si/24+Ni/40+Cr/5+Mo/4+V/14【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

研磨対象物が押し当てられる研磨面を有する研磨部を備えた研磨板であって、 前記研磨部は鉄を主成分とし、 以下の式 Ceq=C+Mn/6+Si/24+Ni/40+Cr/5+Mo/4+V/14 (但し、上記式において、各元素記号は前記研磨部におけるその元素の含有量を質量%で表した値である) で表される炭素当量Ceqが0.02質量%以下である研磨板。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24B37/04 A ,  B24B37/04 G ,  B24B37/00 H ,  H01L21/304 622F

Fターム (4件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA05 ,  3C058CB02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ラッピング装置,研磨板,及び基板ラッピング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-242578   出願人：三菱重工業株式会社