特許
J-GLOBAL ID：200903018648405040

インクジェット液滴付与装置

発明者：
宮本 雅彦

宮本 雅彦 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-102533
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047434
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】特に大面積の表面伝導型電子放出素子を有する電子源基板の製造において、素子部の導電性薄膜をインクジェット液滴付与装置を用い、真空成膜法とフォトリソグラフィ・エッチング法によらずに、安定的に歩留まり良く形成することができるようにし、またそれによって電子源基板を有する画像形成装置を低価格で製造できるようにする。【解決手段】インクジェット方式により被処理部材71の表面の所定位置に溶液を液滴の状態で少なくとも1滴付与する液滴吐出手段6と、所定位置と液滴吐出手段との相対位置を検出する位置検出手段16と、この検出結果に基づいて所定位置と液滴吐出手段とを位置合せするために被処理部材と液滴吐出手段との相対位置を補正する位置補正手段17とを具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
インクジェット方式により被処理部材の表面の所定位置に溶液を液滴の状態で少なくとも1滴付与する液滴吐出手段と、前記所定位置と前記液滴吐出手段との相対位置を検出する位置検出手段と、この検出結果に基づいて前記所定位置と前記液滴吐出手段とを位置合せするために前記被処理部材と液滴吐出手段との相対位置を補正する位置補正手段とを具備することを特徴とするインクジェット液滴付与装置。
IPC (4件)：
H01J9/02 ,  B05C5/00 ,  B05D1/26 ,  B05D5/12
FI (4件)：
H01J9/02 E ,  B05C5/00 101 ,  B05D1/26 Z ,  B05D5/12 B
Fターム (26件)：
4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075CA22 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA10 ,  4D075EC08 ,  4D075EC10 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA23 ,  4F041BA38 ,  5C127CC12 ,  5C127DD17 ,  5C127DD99 ,  5C127EE14 ,  5C127EE15
引用特許：
審査官引用 (6件)
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