特許
J-GLOBAL ID：200903018648645009

ワーク搬送用ステージ駆動機構、ワーク搬送装置、ワーク描画装置、ワーク光学処理装置、ワーク露光描画装置、ワーク搬送用ステージの駆動方法、ワーク搬送方法、ワーク描画方法、ワーク光学処理方法及びワーク露光描画方法

発明者：
寺田 和広

寺田 和広 について

, 
橋口 昭浩

橋口 昭浩 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 千葉 剛宏 ,  宮寺 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-051092
公開番号（公開出願番号）：特開2006-238638
出願日： 2005年02月25日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】発熱源である駆動モータの発熱量を有効に低減するようにして、シートフイルムの熱膨張を効果的に抑制することができ、シートフイルムへの例えば光学的な処理(例えば画像の光学的な転写や露光等)を高精度に行う。【解決手段】制御ユニットからの指令を受け取り(ステップS1)、受け取った指令が駆動指令であるか否かが判別され(ステップS2)、駆動指令である場合は、駆動指令の値に応じた駆動電流を駆動モータに供給する(ステップS3)。これにより、露光ステージが上下方向に移動することになる。一方、制御ユニットからの指令が駆動指令ではなく、停止指令であると判別された場合は、最小の駆動電流を駆動モータに供給する(ステップS4)。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
ワーク載置面を有するステージを移動駆動するワーク搬送用ステージ駆動機構において、 前記ステージの移動駆動の動力源である駆動モータと、 前記ステージの移動停止に基づいて前記駆動モータへの駆動電流を低減する駆動電流低減手段とを有することを特徴とするワーク搬送用ステージ駆動機構。
IPC (3件)：
H02P 8/12 ,  H01L 21/68 ,  H02P 3/04
FI (3件)：
H02P8/00 B ,  H01L21/68 K ,  H02P3/04 B
Fターム (25件)：
5F031CA09 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031JA04 ,  5F031JA14 ,  5F031JA27 ,  5F031JA33 ,  5F031JA38 ,  5F031KA07 ,  5F031LA08 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11 ,  5H530AA30 ,  5H530BB09 ,  5H530CC18 ,  5H530CE02 ,  5H530CF03 ,  5H530EF02 ,  5H580AA04 ,  5H580BB01 ,  5H580FD14 ,  5H580FD16 ,  5H580KK10
引用特許：
出願人引用 (1件)

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