特許
J-GLOBAL ID：200903060467059538

露光ヘッド及び露光装置

発明者：
砂川 寛

砂川 寛 について

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石川 弘美

石川 弘美 について

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岡崎 洋二

岡崎 洋二 について

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永野 和彦

永野 和彦 について

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藤井 武

藤井 武 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-154930
公開番号（公開出願番号）：特開2004-062155
出願日： 2003年05月30日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：
【課題】迷光の発生及び光効率の低下を生じさせることなく、被露光面を露光するビームスポットを所望のスポット径に調整する。【解決手段】露光ヘッド166には、レンズ系54,58によるDMD50のマイクロミラーの結像面にマイクロフィールドレンズアレイ72が配置され、このレンズアレイ72には、マイクロレンズ74がDMD50における各マイクロミラーと対応するように2次元的に配列されている。第1マイクロレンズ74の後方焦点位置にはマイクロ結像レンズアレイ76が配置され、このレンズアレイ76には、マイクロレンズ78がレンズアレイ72における各マイクロレンズ74と対応するように2次元的に配列されている。露光ヘッド166では、第2マイクロレンズ78により結像された微小サイズのマイクロミラーの実像を、レンズ系80,82を介してビームスポットとして露光面56上へ投影し、露光面56を露光する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
露光面を複数本のレーザビームにより2次元的に露光するための露光ヘッドであって、 レーザー出射部からレーザビームを出射する照明手段と、 制御信号に応じて光変調状態がそれぞれ変化する複数の画素部が2次元的に配列され、前記レーザー出射部から入射したレーザビームを前記画素部により露光状態及び非露光状態の何れかに変調する空間光変調素子と、 前記空間光変調素子における各画素部の像をそれぞれ結像する第1光学系と、前記複数の画素部の像位置に、該像位置に形成される像サイズと同一ピッチで2次元的に配列され、前記複数の画素部により前記露光状態に変調されたレーザビームを集光する複数個の第1マイクロレンズと、 前記複数の第1マイクロレンズの後方焦点位置に配置され、前記画素部の実像を前記露光面上にそれぞれ結像する複数の第2マイクロレンズとを有し、 前記第2マイクロレンズにより結像された前記画素部の実像をビームスポットとして前記露光面を露光することを特徴とする露光ヘッド。
IPC (3件)：
G03F7/20 ,  G02B26/08 ,  H01L21/027
FI (3件)：
G03F7/20 505 ,  G02B26/08 E ,  H01L21/30 529
Fターム (13件)：
2H041AA05 ,  2H041AA16 ,  2H041AB12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097CA06 ,  2H097CA17 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046CB18
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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