電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-200776
公開番号（公開出願番号）：特開平9-050778
出願日： 1995年08月07日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【目的】電子線照射による試料汚損を許容範囲に抑える。【構成】偏向電極6へ電圧を印加し、試料に照射される全電子線をファラディーカップ5へ照射し、電流検出回路7によって試料4への照射電流を測定し、CPU1で、照射電流と設定倍率と照射時間から(単位面積当たりの照射電流×照射時間)の演算によってドーズ量を計算する。画像表示装置10に試料に許容されるドーズ量や照射時間と共に実際のドーズ量や電子線照射時間を表示して管理する。ドーズ量が許容限度に達したら、偏向電極6に電圧を印加して試料4への電子線照射を中止する。

請求項（抜粋）：

試料への電子線照射電流を測定する手段と、試料上の観察領域への電子線照射時間を測定する計時手段と、前記測定された電子線照射電流、電子線照射時間及び観察倍率に基づいて前記観察領域に照射された電子線ドーズ量を演算する手段とを備えることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/04 , H01J 37/244 , H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/04 A , H01J 37/244 , H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-053903 出願人：日本電子株式会社
特開昭53-030865
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-056774 出願人：株式会社日立製作所

全件表示

前のページに戻る