特許
J-GLOBAL ID：200903018676643674

液面センサ、液体容器および液量検知方法

発明者：
白井 喜勝

白井 喜勝 について

, 
村山 祐二

村山 祐二 について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-333678
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162286
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：
【要約】【課題】 容器内の液体の残量を効果的に知ることができる液面センサ、液体容器および液量検知方法を提供する。【解決手段】 液面センサ18は、液体容器4内に配置されるセンサプローブ20a,20bと接続された監視ユニット23とを有している。この監視ユニット23は、センサプローブ20a,20bの出力電位差を検出するプローブ電位差検出部25と、この検出結果から液体の液面レベルを判別する液面レベル判別部26と、プローブ電位差検出部25の検出結果からバブリング用ガスのバブリング期間の回数をカウントし、このバブリング期間の回数と予め記憶されたバブリング期間1回当たりの液体使用量データとから、液体容器4における液体の使用量および残量を算出する液使用量演算部27とを有している。
請求項（抜粋）：
バブリング用ガスが導入される液体容器内に収容された液体の液面レベルを検出するための液面センサであって、前記液体容器内に配置される自己加熱用センサプローブ及び温度測定用センサプローブと、前記自己加熱用センサプローブと前記温度測定用センサプローブとの温度差を検出する温度差検出手段と、前記温度差に基づいて前記バブリング用ガスのバブリング期間の回数をカウントし、このバブリング期間の回数から前記液体容器における前記液体の使用量を算出する演算手段とを備える液面センサ。
IPC (2件)：
G01F 23/22 ,  G01F 11/00
FI (2件)：
G01F 23/22 A ,  G01F 11/00 A
Fターム (1件)：
2F014CA10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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