炭素質ルツボの保護方法および単結晶引き上げ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：来代哲男 , 田村正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-100472
公開番号（公開出願番号）：特開2008-254978
出願日： 2007年04月06日
公開日（公表日）： 2008年10月23日
要約：

【課題】取り扱いが容易で、作業時間が格段に低減し、しかも、シートを破損なくルツボの内面を隙間なく覆うことが可能な炭素質ルツボの保護方法および単結晶引き上げ装置を提供する。【解決手段】石英ルツボと石英ルツボが載置される炭素質ルツボ2との間に、膨張黒鉛材料からなる保護シートを介在させて炭素質ルツボ2を保護する方法であって、保護シートが、ルツボ間の敷設において一体に組み合わさるような形状とした2以上からなる保護シート片10Aを炭素質ルツボ2の内面に敷設する炭素質ルツボの保護方法。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

石英ルツボと該石英ルツボが載置される炭素質ルツボとの間に、膨張黒鉛材料からなる保護シートを介在させて炭素質ルツボを保護する方法であって、前記保護シートが、前記ルツボ間の敷設において一体に組み合わさるような形状とした2以上からなる保護シート片を炭素質ルツボの内面に敷設する炭素質ルツボの保護方法。

IPC (1件)：

C30B 15/10

FI (1件)：

C30B15/10

Fターム (7件)：

4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077HA12 , 4G077PD11 , 4G077PD12

引用特許：

出願人引用 (6件)

特許第2528285号公報
特開昭63-156091
特開昭57-111296

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審査官引用 (7件)

特開昭63-156091
特開昭63-156091
特開昭57-111296

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