炭素質ルツボの内面保護シート

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-293916
公開番号（公開出願番号）：特開2001-261481
出願日： 2000年09月27日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】 SiOガスとの反応を抑制でき、かつ、単結晶引き上げ処理後に石英ルツボの取出が容易な石英ルツボを内挿する炭素質ルツボの内面を保護する内面保護シートを提供する。【解決手段】炭素繊維からなるシート状の炭素繊維加工品に樹脂を含浸して炭化してなるC/C材からなるシート状の炭素繊維加工品、また、炭素繊維からなるシート状の炭素繊維加工品に熱分解炭素を含浸若しくは被覆のいずれか或いはその両方をしてなるC/C材からなるシート状の炭素繊維加工品で、灰分量が50ppm以下で、曲率半径50mm以下に湾曲が可能なものを所定の形状に加工し、炭素質ルツボ内面に沿って介在させて保護シートとする。

請求項（抜粋）：

半導体単結晶引き上げ装置において、原料融液を収容する石英ルツボと、これが載置される炭素質ルツボの間に、前記炭素質ルツボに沿うように介在した炭素質ルツボの内面保護シートであって、前記保護シートが、炭素繊維強化炭素複合材からなる炭素質ルツボの内面保護シート。

Fターム (3件)：

4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077PD11

引用特許：

審査官引用 (4件)

シリコン単結晶引き上げ装置及びこれに用いる引き上げ用容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-166846 出願人：東芝電興株式会社, 株式会社アクロス
半導体単結晶の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-105175 出願人：コマツ電子金属株式会社
特開昭64-018986

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