特許
J-GLOBAL ID：200903018707927404
圧電アクチュエータの製造方法およびインクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031834
公開番号（公開出願番号）：特開平10-226069
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 機械加工によらずにインクジェットヘッド用圧電アクチュエータを歩止まりよく、安価に製造する。【解決手段】 本発明のインクジェットヘッド用圧電アクチュエータの製造方法は、基板18上に積層したフォトレジスト層44に複数の型孔50を設け、これら型孔50に圧電材料のスラリ52を充填し、これを焼成してフォトレジスト層44を焼き飛ばし、上記基板18上に残った圧電部材56に分極処理を施してアクチュエータ22とするものである。
請求項（抜粋）：
基板上に積層したフォトレジスト層に型孔を設け、この型孔に圧電材料のスラリを充填し、これを焼成してフォトレジスト層を焼き飛ばし、上記基板上に残った圧電部材に分極処理を施して圧電アクチュエータとする圧電アクチュエータの製造方法。
IPC (5件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/22
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
