特許
J-GLOBAL ID：200903018709978693
走査形プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029334
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211733
出願日： 1998年01月27日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 試料内部の情報まで得ることができる走査形プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 試料とカンチレバ間に働く摩擦力を表す演算増幅器17の出力は、AD変換器18を介してメモリ19に記憶される。メモリ19に記憶された試料面S1〜Snに関する摩擦力データは画像処理回路20に送られ、画像処理回路20は、摩擦力データを”1”または”0”のデータに2値化する。そして、画像処理回路20は、”1”で表わされたデータを抽出し、抽出したデータから3次元画像データを作成する。
請求項（抜粋）：
試料に探針を対向させた状態で試料または探針を2次元的に走査し、探針の変位を検出して試料の2次元画像を得るようにした走査形プローブ顕微鏡において、試料を割断する割断手段と、試料の割断の度に得られた試料の2次元画像データを記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された2次元画像データに基づいて試料の3次元画像データを作成する画像処理手段を備えたことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01N 1/28
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 7/34 Z
, H01J 37/28 X
, G01N 1/28 G
