圧電素子の周波数調整加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-113041
公開番号（公開出願番号）：特開平7-046073
出願日： 1994年05月26日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】周波数調整源と圧電素子の距離を可変することによって周波数調整精度並びに機械能力の向上を実現する。【構成】圧電素子3の周波数をネットワークアナライザ1で測定し、演算処理装置15で圧電素子3と周波数調整源9の最適な距離を算出して、駆動装置14により周波数調整源9を移動させる。

請求項（抜粋）：

スパッタエッチングまたはイオンビームを照射することにより圧電素子の周波数調整を行う加工装置において、前記圧電素子に帯電するプラス電荷を除去する電荷除去手段と前記圧電素子の周波数を測定する周波数測定手段と前記圧電素子の周波数を調整する周波数調整手段とを備え、前記電荷除去手段で前記プラス電荷を除去して前記周波数測定手段で前記圧電素子の周波数を測定しながら、前記周波数調整手段により前記圧電素子の周波数を調整加工することを特徴とする圧電素子の周波数調整加工装置。

引用特許：

審査官引用 (14件)

水晶振動子用連続成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-024339 出願人：株式会社昭和真空
特開平4-196708
特開平4-196708

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