処理装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-182654
公開番号（公開出願番号）：特開2000-018207
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】エアの元圧やピストンとエアシリンダとの摺動抵抗が変動しても常にピストンの移動速度を一定に保つことのできる処理装置及び処理方法を提供する。【解決手段】エアシリンダ84の供給側と排気側流路とにDSC1,2を配設し、エアシリンダ84の側面部に配設した二個のセンサS1,S2と、ピストン85に取り付けた磁石のマーカーM1,M2と、制御装置110とでピストン85の移動速度を検知し、このピストン85の移動速度に基づいてDSC1やDSC2への印加電圧を調節することによりピストン85の移動速度をリアルタイムで制御するようにした。

請求項（抜粋）：

被処理系を駆動するピストンと、前記ピストンを往復運動可能に収容するエアシリンダと、前記ピストンの移動速度を検知する手段と、前記検知したピストンの移動速度に基づいて、前記エアシリンダから排出されるエアの流量を制御する手段と、を具備することを特徴とする処理装置。

IPC (5件)：

F15B 11/05 , B25J 9/04 , B25J 9/14 , H01L 21/68 , H01L 21/027

FI (5件)：

F15B 11/05 Z , B25J 9/04 B , B25J 9/14 , H01L 21/68 N , H01L 21/30 577

Fターム (43件)：

3F059AA14 , 3F059BA01 , 3F059DA07 , 3F059DD08 , 3F059FC02 , 3F059FC12 , 3F060EB06 , 3F060EB07 , 3F060EB12 , 3F060GA01 , 3F060GA16 , 3F060GD07 , 3F060GD11 , 3H089AA27 , 3H089BB17 , 3H089CC01 , 3H089DB12 , 3H089EE31 , 3H089FF04 , 3H089FF12 , 3H089GG03 , 3H089JJ20 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA17 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031GA08 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031HA13 , 5F031HA33 , 5F031MA26 , 5F031MA30 , 5F046JA04 , 5F046JA22 , 5F046KA04 , 5F046KA07 , 5F046KA10 , 5F046LA01 , 5F046LA18

引用特許：

審査官引用 (5件)

搬送装置及び搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-040592 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
特開平3-204402
特開平3-204402

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