特許

J-GLOBAL ID：200903018726617882

クリーニングガス

発明者： 毛利 勇 ,  大橋 満也 ,  川島 忠幸 ,  田村 哲也 ,  田仲 健二 ,  戸田 誠
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-384111
公開番号（公開出願番号）：特開2002-184765
出願日： 2000年12月18日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：

【要約】【課題】 薄膜形成装置等の内壁、該装置の冶具・部品、配管等に堆積した不要な堆積物を除去するためのクリーニングガスを提供する。【解決手段】 COF2に、CF2(OF)2、CF3OF、CF3OOCF3、またはF2を混合したガス。

請求項（抜粋）：

薄膜形成装置等の内壁、該装置の冶具・部品、配管等に堆積した不要な堆積物を除去するためのクリーニングガスで、COF2に、CF2(OF)2、CF3OF、CF3OOCF3、またはF2を少なくとも1種以上混合したクリーニングガス。

IPC (5件)：

H01L 21/3065 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/44 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205

FI (5件)：

C23C 14/00 B ,  C23C 16/44 J ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 F

Fターム (34件)：

4K029DA01 ,  4K029EA05 ,  4K029FA09 ,  4K030AA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA13 ,  4K030BA40 ,  4K030BB05 ,  4K030DA06 ,  4K030KA08 ,  4K030KA30 ,  4K057DA01 ,  4K057DB01 ,  4K057DB06 ,  4K057DB08 ,  4K057DD01 ,  4K057DE06 ,  4K057DG12 ,  4K057DM02 ,  4K057DN10 ,  5F004AA15 ,  5F004BA04 ,  5F004DA00 ,  5F004DA30 ,  5F004DB01 ,  5F004DB08 ,  5F004DB10 ,  5F004DB12 ,  5F004DB13 ,  5F045AA03 ,  5F045AB04 ,  5F045AC03 ,  5F045AC12 ,  5F045EB06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• エッチングガスおよびクリーニングガス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-027382   出願人：ダイキン工業株式会社
• クリーニングガス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-239338   出願人：セントラル硝子株式会社