異物除去装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小沢信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-290503
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142437
出願日： 1993年11月19日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】薬液や,超純水を使用する洗浄工程を不要としてコストダウンを図るとともに,除去した異物を組成分析に適した状態に捕集/濃縮することが可能な異物除去装置を提供する。【構成】原子量が10以上の気体を流すことによりノズル2の先端が負圧になるようにされたアスピレータ1と,前記ノズルの先端付近に配置され,前記ノズルの先端とステージ5を相対的に移動させるための位置制御装置11と,からなり,前記ステージ5に載置された被検体8の表面を前記アスピレータ1で掃引して前記被検体8に付着した異物を吸引し,前記アスピレータの一端から吹き出すようにし,更に前記アスピレータの後段にフィルタを配置して前記異物を捕集/凝集するように構成した。

請求項（抜粋）：

原子量が10以上の気体を流すことによりノズルの先端が負圧になるようにされたアスピレータと,前記ノズルの先端付近に配置され,前記ノズルの先端とステージを相対的に移動させるための位置制御装置と,からなり,前記ステージに載置された被検体の表面を前記アスピレータで掃引して前記被検体に付着した異物を吸引し,前記アスピレータの一端から吹き出すように構成したことを特徴とする異物除去装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 , B08B 5/02 , B07B 4/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

粒子凝集検出除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-182561 出願人：シャープ株式会社
特開昭48-089564

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