i線用感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152411
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140658
出願日： 1993年06月23日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【構成】ポリイミド前駆体、エチレン性不飽和二重結合およびアミノ基を有する化合物および特定のオキシム化合物を含有するi線用感光性ポリイミド前駆体組成物。【効果】本発明にかかるi線用感光性ポリイミド前駆体組成物は容易に製造でき、かつ、ポジ型、ネガ型ともに優れた機能を有するので有用である。さらに現像後、キュアすることにより、強伸度が優れたポリイミド被膜を得ることができる

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマ(A)、【化1】(ただし、式中R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)(b)エチレン性不飽和二重結合およびアミノ基を有する化合物(B)、および(c)一般式(2)で表されるオキシム化合物(C)【化2】(ただし、R4 は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数7〜20のアリールアルキル基または炭素数6〜20のアリール基、R5 は水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数7〜20のアリールアルキル基、炭素数1〜10の脂肪族アシル基、炭素数6〜20の芳香族アシル基、炭素数1〜10の脂肪族スルフォニル基または炭素数6〜20の脂肪族スルフォニル基、R6 は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数6〜20のアリーロキシ基炭素数7〜20のアリールアルキル基または炭素数2〜10の不飽和炭化水素を表す。)を含有することを特徴とするi線用感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 504 , C08K 5/17 , C08K 5/33 , C08L 79/08 LRB , G03F 7/039 501 , H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭60-042425
特開昭63-256663
特開昭63-099235

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