圧電素子及びその製造方法並びにそれを用いたインクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-107884
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299510
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】低電圧で駆動が可能で、高密度で、小型のインクジェットヘッドの作製を可能とする。【解決手段】共通電極3と、共通電極3上にPb,Zr,Tiを主成分とするペロブスカイト型誘電体薄膜で積層した圧電体2と、さらに圧電体上に積層した個別電極1とを有する圧電素子4において、圧電体2のPbと、Zr及びTiとの組成比:Pb/(Zr+Ti)が1より大きくかつ1.3以下であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

共通電極と、前記共通電極上に鉛(Pb),ジルコニウム(Zr),チタン(Ti)を主成分とするペロブスカイト型誘電体薄膜(以後単にPZTと称す)で積層した圧電体と、さらに前記圧電体上に積層した個別電極とを有する圧電素子において、前記圧電体のPbと、Zr及びTiとの組成比:Pb/(Zr+Ti)が1より大きくかつ1.3以下であることを特徴とする圧電素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , C23C 14/08 , H01L 41/187 , H01L 41/22

FI (5件)：

H01L 41/08 C , C23C 14/08 K , B41J 3/04 103 A , H01L 41/18 101 D , H01L 41/22 Z

Fターム (16件)：

2C057AF34 , 2C057AF55 , 2C057AF93 , 2C057AG44 , 2C057AG93 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP52 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 4K029AA04 , 4K029BA50 , 4K029BB07 , 4K029BC00 , 4K029CA05 , 4K029DC05

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭62-241870
特開昭62-241823
特開昭62-162623

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