特許
J-GLOBAL ID：200903019341150203
インクジェット記録装置とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-095491
公開番号（公開出願番号）：特開平10-286953
出願日： 1997年04月14日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 インクジェット記録装置の解像度を向上させるために必要な多素子化を鉛系誘電体薄膜を用いた圧電素子を用いて実現した。薄膜形成プロセスを用いてPZT等の鉛系誘電体を高い圧電特性を維持したまま薄膜化するため、それらを微細加工することにより多素子化が容易に行うことができ、低電圧でインク吐出能力の良いインクジェット記録装置用圧電素子を形成することができる。【解決手段】 rfスパッタ法により形成したPZT薄膜を用いた圧電素子3を有し、さらに薄膜状の振動板4を圧力室1の上壁に形成した。
請求項（抜粋）：
インク液体を吐出させて文字および図形を記録するインクジェト記録装置において、インクを吐出させる圧力印加手段を圧力室に形成した振動板と、その振動板を振動させるための、鉛を含有したペロブスカイト型誘電体薄膜で形成したものを圧電部材とする圧電素子を有することを特徴とするインクジェット記録装置。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
