特許

J-GLOBAL ID：200903018842598887

サーマルインクジェットヘッド

発明者： 関谷 卓朗
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-145263
公開番号（公開出願番号）：特開平7-125210
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：

【要約】【目的】 発熱層等を有する発熱体基板と流路用溝等を有する流路基板とを積層形成するヘッド構造に関して、流路基板側の流路用溝や共通液室領域、さらには、インク流入口の形成法を改良すること。【構成】 発熱層等を有する発熱体基板2に積層される流路基板3に関して、断面台形状の複数本の平行な流路用溝6と共通液室領域7とを、(100)面の結晶方位面に切出された単結晶シリコンウエハを利用した1回の異方性エッチング工程で同時に形成するものとし、高精度化を図るようにした。

請求項（抜粋）：

基板上に蓄熱層と発熱層とこの発熱層に通電するための電極と保護層とを形成した発熱体基板と、(100)面の結晶方位面に切出された単結晶シリコンウエハ上に異方性エッチングにより2つの等価な(111)面と1つの(100)面とで形成される断面台形状の複数本の平行な流路用溝及びこれらの流路用溝と連通するとともに(100)面による天井面を有して前記流路用溝と同等の深さの共通液室領域とこの共通液室領域にインクを流入するためのインク流入口とを形成した流路基板とよりなり、前記発熱体基板とこの流路基板とを発熱面と溝面とが相対するように積層したことを特徴とするサーマルインクジェットヘッド。

IPC (2件)：

B41J 2/05 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 B ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• インクジエツト記録ヘツド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-326327   出願人：富士ゼロツクス株式会社
• 特開平2-223450
  
• 特開平2-099334