特許

J-GLOBAL ID：200903018856735526

外観検査方法

発明者： 野口 稔 ,  中川 泰夫 ,  浜田 利満 ,  伏見 智 ,  石井 恭三 ,  林 恒男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-107932
公開番号（公開出願番号）：特開2002-039963
出願日： 1990年02月07日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】はんだ付部のはんだ無し、はんだ過多・過少、はんだ付部のショート等の欠陥を高速度で、且つ高信頼度でもって検査できるようにすること、すなわち、試料の外観を観察して試料の欠陥を高速に分類できる外観検査方法を提供すること。【解決手段】予め記憶された位置座標データに基づいてテーブルを駆動して該テーブルに載置した試料の所望の領域を顕微鏡の視野に入れ、該顕微鏡の視野に入った前記試料の所望の領域を撮像して該所望の領域の画像を得、該所望の領域の画像を記憶し、該記憶した所望の領域の画像を分類するようにした。

請求項（抜粋）：

予め記憶された位置座標データに基づいてテーブルを駆動して該テーブルに載置した試料の所望の領域を顕微鏡の視野に入れ、該顕微鏡の視野に入った前記試料の所望の領域を撮像して該所望の領域の画像を得、該所望の領域の画像を記憶し、該記憶した所望の領域の画像を分類することを特徴とする外観検査方法。

IPC (5件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00 305 ,  H05K 3/34 512 ,  B23K 1/00

FI (5件)：

G01N 21/956 B ,  G06T 1/00 305 A ,  H05K 3/34 512 B ,  B23K 1/00 A ,  G01B 11/24 K

Fターム (49件)：

2F065AA52 ,  2F065AA53 ,  2F065CC26 ,  2F065FF04 ,  2F065GG05 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065LL30 ,  2F065LL37 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ29 ,  2F065UU05 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051BA10 ,  2G051BC05 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051CD03 ,  2G051DA07 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EC10 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B057BA19 ,  5B057DA03 ,  5B057DA12 ,  5B057DB03 ,  5B057DB09 ,  5B057DC09 ,  5B057DC33 ,  5B057DC36 ,  5E319BB05 ,  5E319CC22 ,  5E319CD06 ,  5E319CD26 ,  5E319CD53 ,  5E319GG03 ,  5E319GG15