特許

J-GLOBAL ID：200903018888018001

微量標準ガス用圧力調整器

発明者： 秋山 重之 ,  青木 潤次 ,  辻 光良 ,  太田 茂晴
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-162951
公開番号（公開出願番号）：特開平11-338550
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】 一次および二次減圧機構の仕様を満足し、ガス吸着性および汚染ガス発生の少ない微量成分ガスを長期間低圧力で安定して供給する。【解決手段】 一次側流路2に接続された一次圧室3と、二次側流路4に接続された二次圧室5と、両圧室3,5間に設けられ,両圧室3,5間に連通した調圧室6と、一次圧室3から調圧室6への流通を調整する一次側調整弁11と、調圧室6から二次圧室5への流通を調整する二次側調整弁22と、調圧室6に設けられ,一次側調整弁11に連動する,耐腐食性金属からなる一次側ダイヤフラム15と、二次圧室5に設けられ,二次側調整弁22に連動する,四フッ化エチレン樹脂からなる二次側ダイヤフラム25とを備える。

請求項（抜粋）：

一次側流路に接続された一次圧室と、二次側流路に接続された二次圧室と、前記両圧室間に設けられ,前記両圧室間に連通した調圧室と、前記一次圧室から前記調圧室への流通を調整する一次側調整弁と、前記調圧室から前記二次圧室への流通を調整する二次側調整弁と、前記調圧室に設けられ,前記一次側調整弁に連動する,耐腐食性金属からなる一次側ダイヤフラムと、前記二次圧室に設けられ,前記二次側調整弁に連動する,四フッ化エチレン樹脂からなる二次側ダイヤフラムとを備えたことを特徴とする微量標準ガス用圧力調整器。

IPC (2件)：

G05D 16/06 ,  F16K 31/126

FI (2件)：

G05D 16/06 Z ,  F16K 31/126 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 二段減圧式圧力調整器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-178104   出願人：株式会社ユタカ
• 特開昭63-254288
  
• 圧力調整装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-323156   出願人：日本電装株式会社, 京三電機株式会社