特許
J-GLOBAL ID:200903018907120351
フローティング・ゲートが有るMOSFETを含む受光素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-504851
公開番号(公開出願番号):特表平11-509366
出願日: 1996年06月28日
公開日(公表日): 1999年08月17日
要約:
【要約】光電子を放出できる光電放出性表面から成る受光素子。光電子はフローティング・ゲートがあるMOSFETで検出され、フローティング・ゲートは測定前に適切に荷電されており、光電子はフローティング・ゲートの電荷に変化を起こさせる。検出変化は受光素子の受光量を示す。
請求項(抜粋):
検出する光の光子に応答して電子を放出できる光電放出性表面と、フロティング・ゲートがあるMOSFETと、上記光電放出性表面と上記MOSFETとを収容するケーシングとから成り、上記フローティング・ゲートは電荷がかけられていて、上記の電子の放出でこの電荷を変化させ、上記ケーシングの少なくとも1部が光透明性で、光が上記光電放出表面に到達できることから成る、受光素子。
IPC (5件):
H01L 31/10
, H01L 21/8247
, H01L 27/115
, H01L 29/788
, H01L 29/792
FI (3件):
H01L 31/10 A
, H01L 29/78 371
, H01L 27/10 434
引用特許:
出願人引用 (3件)
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電子管
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-024313
出願人:浜松ホトニクス株式会社
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特開昭60-230078
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特開昭54-077038
審査官引用 (1件)
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電子管
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-024313
出願人:浜松ホトニクス株式会社
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