光学式エンコーダ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-301701
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121388
出願日： 1998年10月08日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】スケールと検出ヘッド間の高精度の微小間隔での位置決め配置が不要で、全体の構成が簡単で小型化された光学式エンコーダを提供する。【解決手段】光源10からの入射光Liが、レンズ11で平行光にされ、スケール13の正弦波状の光学特性面13aに入射され、光学特性面13aからの反射光Lrが受光素子12で受光され、スケール13の移動で、周期的に繰り返される受光量変化の検出で得られる正弦波状の光電変換出力の計数でスケール13の移動距離が、1/4ピッチの位相差信号の比較で移動方向が検出され、光学特性面13aに微小スポットの入射光Liが入射され、高分解能で高精度の反射光Lrの検出が可能で、検出ヘッド15と光学特性面13a間に充分間隔を設定でき、相互の接触による損傷事故を防止し、スケール13の移動方向に直角方向の振動での移動を許容可能になり、全体も複雑な位置決め調整のない簡単で小型化された構成が可能になる。

請求項（抜粋）：

光源からの検査光を、光の反射特性が相対移動方向に周期的且つ連続的に繰り返し変化する光学特性面を備えたスケールに照射し、前記光源と前記スケールとが、前記相対移動方向に相対的に移動され、前記検査光の前記光学特性面からの反射光が、受光手段で受光され、該受光手段の受光量に基づいて、前記光源と前記スケールとの相対位置の変化を検出する光学式エンコーダであり、前記光学特性面には、同一の凹凸表面形状が周期的且つ連続的に繰り返し形成されていることを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (3件)：

G01D 5/30 , G01B 11/00 , G01D 5/34

FI (4件)：

G01D 5/30 E , G01D 5/30 R , G01B 11/00 F , G01D 5/34 D

Fターム (36件)：

2F065AA07 , 2F065AA20 , 2F065BB15 , 2F065DD02 , 2F065DD03 , 2F065FF15 , 2F065GG01 , 2F065HH13 , 2F065HH18 , 2F065JJ07 , 2F065KK01 , 2F065MM02 , 2F065MM16 , 2F065MM26 , 2F065QQ21 , 2F065QQ51 , 2F065UU05 , 2F065UU06 , 2F065UU07 , 2F103BA17 , 2F103BA37 , 2F103BA43 , 2F103CA03 , 2F103DA01 , 2F103EA05 , 2F103EA15 , 2F103EA21 , 2F103EB01 , 2F103EB11 , 2F103EB22 , 2F103EB32 , 2F103EB35 , 2F103ED07 , 2F103ED21 , 2F103FA11 , 2F103FA15

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭58-106413
特開平4-351918
特開平1-092604

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