高誘電体薄膜形成用塗布組成物とその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河備健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-169558
公開番号（公開出願番号）：特開2008-004269
出願日： 2006年06月20日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：

【課題】MOD法によるペロブスカイト型誘電物質からなる高誘電体薄膜の形成において、クラックの発生がなく、膜の収縮が小さく、かつ誘電特性に優れた誘電体薄膜を形成することができる高誘電体薄膜形成用塗布組成物とその効率的な製造方法を提供する。【解決手段】特定の混合液を用いてアルカリ土類金属元素の所定濃度の有機酸塩液(A)を調製する工程、特定の有機溶剤を用いてチタン、スズ及びジルコニウムからなる群から選ばれる少なくとも1種の元素の所定濃度のアルコキシド液(B)を調製する工程、有機酸塩液(A)とアルコキシド液(B)を用いて複合有機酸塩液(C)を合成する工程、及び複合有機酸塩液(C)を所定濃度に濃縮させた後、希釈して、所定濃度に調整する工程を含むことを特徴とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記の(1)〜(4)の工程を含むことを特徴とする高誘電体薄膜形成用塗布組成物の製造方法。 (1)バリウム、ストロンチウム、マグネシウム及びカルシウムからなる群から選ばれる少なくとも1種のアルカリ土類金属元素の金属、そのアルコキシド又はカルボン酸塩を、エーテル系溶剤及び/又はアルコール系溶剤と、カルボン酸又はそれを含むエステル系溶剤とからなる混合液に添加した後、窒素又は不活性ガス雰囲気下に80〜110°Cの温度で加熱処理して、金属元素濃度が0.2〜0.8mol/Lの有機酸塩液(A)を調製する工程、 (2)チタン、スズ及びジルコニウムからなる群から選ばれる少なくとも1種の元素のアルコキシド又はカルボン酸塩を、エステル系溶剤中に添加して、金属元素濃度が0.2〜0.8mol/Lのアルコキシド液(B)を調製する工程、 (3)有機酸塩液(A)とアルコキシド液(B)とを、前者に含まれる金属元素の合計量と後者に含まれる金属元素の合計量とがモル比で等しくなるような配合割合で混合した後、窒素又は不活性ガス雰囲気下に80〜130°Cの温度で加熱処理して複合有機酸塩液(C)を合成する工程、 (4)得られた複合有機酸塩液(C)を、窒素又は不活性ガス雰囲気下80〜125°Cの温度で加熱処理し、それにより上記複合アルコキシド化反応を促進させながら、金属元素濃度が1.0〜1.6mol/Lになるように濃縮させた後、さらに、アルコール系溶剤とエステル系溶剤とを添加して、金属元素濃度を0.2〜0.4mol/Lに希釈する工程、

IPC (6件)：

H01B 3/00 , H01L 21/316 , H01B 3/12 , H01L 21/824 , H01L 27/105 , C01G 23/00

FI (8件)：

H01B3/00 F , H01L21/316 G , H01B3/12 303 , H01B3/12 313L , H01B3/12 335 , H01B3/12 333 , H01L27/10 444C , C01G23/00 C

Fターム (29件)：

4G047CA07 , 4G047CB06 , 4G047CC02 , 4G047CD02 , 5F058BA11 , 5F058BC03 , 5F058BF46 , 5F083FR01 , 5F083GA27 , 5F083JA14 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA43 , 5F083PR23 , 5F083PR33 , 5G303AA01 , 5G303AA07 , 5G303AB05 , 5G303AB17 , 5G303BA03 , 5G303BA12 , 5G303CA01 , 5G303CB03 , 5G303CB06 , 5G303CB17 , 5G303CB31 , 5G303CB32 , 5G303CB35 , 5G303CB39

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平1-308801号公報(第1頁)
特開平1-100024号公報(第1頁)
Ba1-xSrxTiO3薄膜形成用組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-144537 出願人：三菱マテリアル株式会社

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