特許

J-GLOBAL ID：200903090203791156

Ba1-xSrxTiO3薄膜形成用組成物

発明者： 厚木 勉 ,  米澤 政 ,  小木 勝実
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-144537
公開番号（公開出願番号）：特開平8-337421
出願日： 1995年06月12日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】 熱分解時、結晶化時における炭酸塩の生成を防止し、大きな重量変化を抑えて、クラックフリーのBa1-x Srx TiO3 誘電体薄膜を形成する。【構成】 Ba,Sr源として、R1 COOH(ただし、R1 は炭素数3〜7の直鎖状又は分岐状アルキル基)のカルボン酸塩を用いる。Ti源としてTi(OR2 )4 (ただし、R2 は炭素数1〜7の直鎖状又は分岐状アルキル基)を用いる。【効果】 BaCO3 ,SrCO3 を生成しないカルボン酸塩、ないし、重量変化の少ないBa,Srのカルボン酸塩とTiのアルコキシドを用いることにより、塗布膜中のBa,Srの炭酸塩の生成を抑え、また急激な重量減少を抑えることができ、これにより膜自体に加わる応力が低減され、Ba1-x Srx TiO3薄膜形成時のクラックが防止される。

請求項（抜粋）：

カルボン酸バリウム、カルボン酸ストロンチウム及びチタンアルコキシドを、モル比でBa:Sr:Ti=(1-x):x:1(ただし、0<x<1)となるように有機溶媒中に混合してなるBa<SB>1-x</SB> Sr<SB>x</SB> TiO<SB>3</SB> 薄膜形成用組成物であって、前記カルボン酸塩を形成するカルボン酸が下記?@よりなる群から選ばれる1種又は2種以上であり、かつ、前記アルコキシドが下記?Aよりなる群から選ばれる1種又は2種以上であることを特徴とするBa<SB>1-x</SB> Sr<SB>x</SB> TiO<SB>3</SB> 薄膜形成用組成物。?@ R<SP>1</SP> COOH(ただし、R<SP>1</SP> は炭素数3〜7の直鎖状又は分岐状アルキル基)?A Ti(OR<SP>2</SP> )<SB>4</SB> (ただし、R<SP>2</SP> は炭素数1〜7の直鎖状又は分岐状アルキル基)

IPC (4件)：

C01G 23/00 ,  C04B 35/46 ,  H01B 3/00 ,  H01B 3/12 326

FI (5件)：

C01G 23/00 C ,  H01B 3/00 F ,  H01B 3/12 326 ,  C04B 35/46 D ,  C04B 35/46 E

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 誘電体膜の形成法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-278179   出願人：富士化学株式会社

審査官引用 (1件)

• 誘電体膜の形成法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-278179   出願人：富士化学株式会社