特許
J-GLOBAL ID：200903018999494422

ドライエッチング装置およびガス流量制御の検査方法

発明者：
芹川 浩一

芹川 浩一 について


出願人/特許権者：
九州日本電気株式会社

九州日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-242585
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087318
出願日： 1997年09月08日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】MFC検定の精度を向上させることにより、ドライエッチングの再現性を向上させることが可能なドライエッチング装置およびガス流量制御の検査方法を提供する。【解決手段】被処理物にドライエッチングを行う反応室1と、ガス供給系20と、真空排気系30とを有したドライエッチング装置において、反応室1とは別にガス流量測定専用の真空チャンバー9を設ける。
請求項（抜粋）：
被処理物にドライエッチングを行う反応室と、ガス供給系と、真空排気系とを有するドライエッチング装置において、前記反応室とは別にガス流量測定専用の真空チャンバーを有することを特徴とするドライエッチング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/3065 ,  C23F 4/00
FI (2件)：
H01L 21/302 B ,  C23F 4/00 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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