特許
J-GLOBAL ID：200903019002402481
マルチチャンバウェハ処理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044896
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246347
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 スループットが向上し、良好な表面処理を行うことができる安価なマルチチャンバウェハ処理システムのウェハ搬送装置とする。【解決手段】 ロードロックチャンバ8をロードステーションに接続される第1のロードロックチャンバ31とトランスファチャンバに接続される第2のロードロックチャンバ32とに分割構成する。これらチャンバ31、32を、一枚のウェハ3を搭載したステージ40により遮断および連通可能とする。第1のロードロックチャンバ31を小さな容積に形成し、第2のロードロックチャンバ32を高真空とする。ロードロックチャンバ8にデガスヒータ54を設ける。2重の真空室であるので、トランスファチャンバ内への大気の持ち込みは激減され、プロセスチャンバでの処理時間中にデガスまで行うので、スループットを落とすことなく、ガスコンタミネーションも生じない。
請求項（抜粋）：
ウェハを収納したウェハカセットを配置するロードステーションと、前記ウェハに所定の処理を行うプロセスチャンバを隣設するとともに、前記ウェハの搬送を行うトランスファロボットを具備したトランスファチャンバと、前記ロードステーションと前記トランスファチャンバとの間に配置され、前記ロードステーションから受け取った前記ウェハを前記トランスファロボットに受け渡すロードロックチャンバとを備えたマルチチャンバウェハ処理システムのウェハ搬送装置であって、前記ロードロックチャンバの真空室を前記ロードステーションに接続される第1のロードロックチャンバと前記トランスファチャンバに接続される第2のロードロックチャンバとに分割構成するとともに、前記第1のロードロックチャンバと前記第2のロードロックチャンバとを遮断および連通可能とし、前記第1のロードロックチャンバを前記第2のロードロックチャンバより小さな容積に形成し、前記第2のロードロックチャンバを前記第1のロードロックチャンバより高真空とし、搭載した一枚の前記ウェハを前記第1のロードロックチャンバから前記第2のロードロックチャンバに移動するステージを設け、前記ロードロックチャンバに前記ウェハのデガスを行うデガスヒータを設けたことを特徴とするマルチチャンバウェハ処理システムのウェハ搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/02 Z
