露光装置及び該装置を用いた露光方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263679
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100685
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【目的】ハーフミラー等の光束を振幅分割する光学部材を用いずとしても、例えば軟X線領域の波長を持つ露光光の検出し、各種の計測が実現できる露光装置を提供にある。【構成】X線を発生させるX線光源と、該X線光源からのX線をマスクに導く照明系とを有し、前記マスクのパターンを感光性基板へ転写する露光装置において、前記照明系は、複数の反射ミラーを有し、前記複数の反射ミラーのうちの少なくとも1つ反射ミラーの反射面に関して、前記X線の照射による光電効果に伴う電気的な特性を検出する検出装置を配置した構成とした。

請求項（抜粋）：

X線を発生させるX線光源と、該X線光源からのX線をマスクに導く照明系とを有し、前記マスクのパターンを感光性基板へ転写する露光装置において、前記照明系は、複数の反射ミラーを有し、前記複数の反射ミラーのうちの少なくとも1つ反射ミラーの反射面に関して、前記X線の照射による光電効果に伴う電気的な特性を検出する検出装置を配置したことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 17/00 , G03F 7/20 503

FI (4件)：

H01L 21/30 531 A , G02B 17/00 A , G03F 7/20 503 , H01L 21/30 531 M

Fターム (29件)：

2H087KA21 , 2H087PA01 , 2H087QA02 , 2H087QA06 , 2H087QA14 , 2H087TA01 , 2H087TA08 , 2H097AA03 , 2H097AB09 , 2H097BA03 , 2H097BB01 , 2H097CA15 , 2H097GA43 , 2H097GB01 , 2H097LA10 , 5F046AA06 , 5F046AA08 , 5F046CA04 , 5F046CB02 , 5F046CC04 , 5F046DA02 , 5F046DB05 , 5F046DB10 , 5F046DB12 , 5F046DC02 , 5F046DC06 , 5F046GA04 , 5F046GA11 , 5F046GA12

引用特許：

審査官引用 (6件)

極紫外線縮小投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-072840 出願人：株式会社ソルテック
特開平3-155100
反射鏡およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-203921 出願人：株式会社ニコン

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