特許
J-GLOBAL ID:200903019025468641
圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
井上 一
, 布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-171521
公開番号(公開出願番号):特開2005-353755
出願日: 2004年06月09日
公開日(公表日): 2005年12月22日
要約:
【課題】 良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。【解決手段】 本発明に係る圧電素子は,基体と、基体の上方に形成された圧電体膜6と、を含み、圧電体膜6は、複数の層からなり、複数の層のうちの少なくとも2層は、異なるリラクサー材料からなり、リラクサー材料は、ペロブスカイト型構造である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基体と、
前記基体の上方に形成された圧電体膜と、を含み、
前記圧電体膜は、複数の層からなり、
前記複数の層のうちの少なくとも2層は、異なるリラクサー材料からなり、
前記リラクサー材料は、ペロブスカイト型構造である、圧電素子。
IPC (15件):
H01L41/09
, B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, C04B35/46
, C04B35/49
, F04B9/00
, F04B43/04
, F04B53/00
, H01L41/187
, H01L41/22
, H01L41/24
, H03B5/30
, H03H9/17
, H03H9/25
FI (16件):
H01L41/08 C
, C04B35/46 M
, C04B35/49 F
, F04B9/00 B
, F04B43/04 B
, H03B5/30 A
, H03H9/17 F
, H03H9/25 C
, H01L41/18 101E
, H01L41/18 101F
, H01L41/08 J
, H01L41/22 Z
, H01L41/22 A
, F04B21/00 N
, B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
Fターム (69件):
2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057BA03
, 2C057BA14
, 3H071AA01
, 3H071BB01
, 3H071CC11
, 3H071DD04
, 3H071DD42
, 3H071DD89
, 3H071EE15
, 3H075AA01
, 3H075BB04
, 3H075BB21
, 3H075CC11
, 3H075CC36
, 3H075CC40
, 3H075DA05
, 3H075DB02
, 3H077AA01
, 3H077CC02
, 3H077CC07
, 3H077DD06
, 3H077EE05
, 3H077EE40
, 3H077FF08
, 3H077FF36
, 4G031AA03
, 4G031AA07
, 4G031AA11
, 4G031AA12
, 4G031AA14
, 4G031AA15
, 4G031AA18
, 4G031AA21
, 4G031AA22
, 4G031AA23
, 4G031AA26
, 4G031AA27
, 4G031AA30
, 4G031AA32
, 4G031BA10
, 4G031CA01
, 4G031CA02
, 4G031CA03
, 4G031CA08
, 4G031GA02
, 4G031GA06
, 4G031GA07
, 4G031GA09
, 4G031GA11
, 5J079AA08
, 5J079BA43
, 5J079BA44
, 5J079HA06
, 5J079HA22
, 5J079KA08
, 5J097AA28
, 5J097BB02
, 5J097EE08
, 5J097FF01
, 5J097HA03
, 5J097KK09
, 5J108BB05
, 5J108CC11
引用特許:
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