薄型ワーク駆動装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光来出良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-120944
公開番号（公開出願番号）：特開平11-309655
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】両面共に平行度が求められる薄型ワーク(例えば光学部品のガラスや半導体シリコンウェハなど)の両表面処理加工、特に、両面研削加工に使用される両頭研削装置に適用でき、薄型ワークの使用面にダメージを与えないように円板状の薄型ワークを効率よく自転させて研削させるために、薄型ワークを保持しながら回転駆動することができる薄側ワーク駆動装置を提供する。【解決手段】円板状の薄型ワーク18の外周を複数個のローラで支持し、該ローラの少なくとも一部の複数個のローラが駆動ローラ17として薄型ワーク18と回転可能に接触する。前記ローラのうちの少なくとも複数個のローラは常にワーク中心に向かって押し付力を与える支持ローラ19である。薄型ワーク18の表裏面が液圧による側方ガイド23によって保持されることが好ましい。

請求項（抜粋）：

円板状の薄型ワークの外周を回動自在に支持する複数個のローラを有し、該ローラのうちの複数個のローラが回転駆動する駆動ローラとして機能することにより、薄型ワークの回転時に、薄型ワークの被加工面である表裏面を加工処理できるように薄型ワークを回動自在に支持することを特徴とする薄型ワーク駆動装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭49-034094
特開平4-041167
ウエハの加工方法及び平面研削盤
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-158724 出願人：株式会社日平トヤマ

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